南京迈塔光电科技有限公司    E1-Vac 二维材料真空转移系统
E1-Vac

E1-Vac 二维材料真空转移系统

Coming soon!

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系统特点:

√ 真空值低至5Pa,有效避免转移过程中气泡的产生,可以制备高质量的异质结       

√ 精确升降温控制,升温速度最高0.5/s,降温速度最高0.3/s,最高加热温度150度,升降温速度均可通过电脑控制。

√ 7轴电动滑台,包括样品的电动XYZ方向平移,衬底的XY方向平移和旋转,物镜的Z轴升降。所有平移轴位移分辨率200 nm,旋转台角度分辨率0.01度。

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